半導體真空干燥箱
一、半導體真空干燥箱箱體規(guī)格：
規(guī)格型號 | 內箱尺寸（W*H*Dmm） | 外箱尺寸（W*H*Dmm） | 真空泵 | 電源 |
HE-WD-300 | 300*300*300 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 3.5KW |
HE-WD-400 | 400*400*400 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 4.5KW |
HE-WD-500 | 500*500*500 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 5.5KW |
HE-WD-600 | 600*600*600 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 380V 50Hz 9KW |
HE-WD-700 | 700*700*700 | 1000*1580*920 | 8升 | AC 380V 50Hz 12KW |
HE-WD-800 | 800*800*800 | 1100*1680*1050 | 8升 | AC 380V 50Hz 15KW |
HE-WD-1000 | 1000*1000*1000 | 1350*1620*1300 | 8升 | AC 380V 50Hz 20KW |
1.箱體結構：連體式，真空泵置于機臺下部；
2.隔層：內分二層，配網(wǎng)板二塊，可活動抽出；
3.面板安裝：控制面板安裝于機臺下方；
4.開門方式：單由右至左開啟;
5.可視窗：門上帶可視窗，規(guī)格W250×H300mm；
6.內箱材料為：304#不銹鋼工業(yè)板；內箱加強處理，抽真空不變形；
7.外箱材料為：冷軋鋼板,厚1.2mm,表面烤漆處理；
8.保溫材質為：耐高溫巖棉，保溫層厚100mm，保溫效果好；
9.安裝帶剎車活動腳輪，可任意推動；
二、半導體真空干燥箱控溫系統(tǒng)：
2.1 溫度控制為PID數(shù)顯儀表（中國臺灣臺松儀表），單點式控溫,可自動演算，PV/SV同時顯示，按鍵設定，可設定常溫到zui高溫度之間的任意溫度值；
2.2 定時器設定，0.1秒－999時（可選擇設定小時、分鐘、秒）
2.3 溫到計時，時間至切斷加熱電流 (報警裝置) （中國臺灣YANGMING）
2.4 感溫線為（K）型；
2.5 輸出為3-32V；
2.6 電流控制器為SSR+PID無接點；
2.7 升溫速率：RT～100℃（約30分鐘）
2.8 采用三面加熱的熱輻射的方式；
2.9 加熱體為耐高溫發(fā)熱管；
2.10 溫度范圍：常溫～300℃
2.11 控制精度：±0.5℃
2.12 顯示精度：0.1℃
2.13 箱內溫度均勻度：±8℃%(無真空時，空箱測試)
三、密封及真空：
3.1 本機采用高密封性的硅膠密封條保障整機的密封性；
3.2 采用數(shù)顯式真空表直接顯示內箱真空度，讓你即時了解箱體內的真空狀態(tài)，真空度達到0－-0.1Mpa (即:100pa真空度)
3.3 真空表帶上、下限控制功能，可控制真空泵自動抽真空到上限設定值，自動停止；低到下限值自動啟動，以此循環(huán)使用；地區(qū)不同顯示真空度值不相同；
3.4 真空度: 0～-101KPa（數(shù)顯式負壓真空表，顯示相對壓力值）
3.5 壓力波動：≤5%
3.6 真空表顯示精度：0.1KPa
3.7 真空保壓泄漏率：約0.8KPa每小時
3.8 解壓方式：手動卸壓，直接充入環(huán)境空氣
3.9 真空泵配置：直連式真空泵；
