在工業領域中，一套完整的超聲波清潔系統必須包括足夠的沖洗槽以產生所需的清潔效果。沖洗水箱的數量越多，所需的水就越少。閉環去離子系統需要在最終的沖洗水箱中保持足夠的純度。每次將籃子從超聲波清洗槽轉移到沖洗槽時，清洗劑也會轉移到沖洗液中，從而用清潔劑污染它，這將在部件上留下殘留物。這就是為什么大多數工業超聲波清洗系統中包括至少2個沖洗槽的原因。第一個漂洗槽可去除大部分洗滌劑殘留物，從而防止其污染最終的漂洗槽。然后需要較少的水來維持最終漂洗槽中的水純度。

大多數沖洗水槽系統包括反向級聯溢流功能。最純凈的水供應添加到沖洗水箱。然后，該沖洗槽溢流到沖洗槽中，然后溢流槽排出或排入另外的沖洗槽。該技術有兩個主要目的;確保最終的沖洗水槽含有最純凈的可用水供應，并減少用水量，因為兩個水槽共用同一水源。漂洗槽的數量越多，在最終漂洗中保持足夠水質所需的純水量就越少。

在許多情況下，超聲波清洗系統被添加到主要或最終的漂洗槽中以改善漂洗。畢竟，漂洗過程的主要功能是去除超聲波清洗槽中使用的清潔劑。當被處理的部件具有可能捕獲洗滌劑的細節時，超聲波系統可以有益于去除這些污染物。然而，在去離子水中超聲波洗滌作用大大降低，因為水的表面張力很大，以至于難以產生超聲空化。盡管在去離子水沖洗槽中發生功率損失，但可用的擦洗操作足以確保部件被充分沖洗。

清潔/沖洗/干燥系統的其中一個選項是自動沖洗水質系統，該系統可持續監控最終沖洗水箱中的水質。當水質低于可接受的值時，將純水加入沖洗槽中直至水質可接受。當包括多個沖洗槽時，多余的水溢流到鄰近的沖洗槽中，或者如果包括單個沖洗槽則排出。該選項將大大減少去離子水的消耗。