1.高頻超聲波清洗
對于硅晶片表面上幾微米級的非常細小的灰塵顆粒,增加功率密度沒有幫助,但是傳統的超聲波清潔器不能做任何事情。2020年到來之際,福洋科技團隊開發了兆赫級的高頻超聲波清洗技術。由于頻率高,空化效應不再有效。因此,清潔的關鍵不是氣泡,這是高頻壓力波的清潔作用,并且除塵率接近100%。近年來,高頻清洗迅速發展,主要用于清洗非常大的集成電路芯片上的污垢以及清洗特殊污染物,如硅晶片,陶瓷和光掩模。
2.強化清潔
為微多孔材料的清潔,如噴絲板和在紡織工業中的過濾器,而傳統的超聲波清潔效果非常不符合要求的,利用機械掃描聚焦超聲波清洗和微孔噴絲板是非常清晰。 聚焦清潔需要高聲強,并且當前選擇的頻率主要是低頻。通常,使用兩種類型的頻率,20kHz和15kHz,單獨頻率為28kHz。在連續波的情況下功率通常為500-700W,并且間隙脈沖的操作條件可能更高。
3.多頻清潔
兩個或多個具有不同頻率的換能器安裝在洗滌劑罐中,并且每個發生器由每個頻率的換能器驅動。 當墊圈的工作頻率高時,液體的空化強度低并且空化密度高,但是當工作頻率低時反向發生。低頻超聲波強度高,適合清潔物體表面。高頻超聲空化密度高,沖擊波可以通過微觀結構,如凹槽,狹縫和深孔。同時,克服了由于單頻駐波引起的不均勻清潔的問題。
4.頻率和跳頻清掃掃頻
掃頻和跳頻清掃都旨在改善插槽的聲場結構。 電子分解槽的不均勻正常波場,使清洗均勻,跳頻和多頻率考慮高頻和低頻清洗。不同之處在于跳頻使用傳感器和發生器,而傳感器本身具有兩個共振頻率。